自30年代末發明陰極射線管以來，工程師們就利用第一批頻譜分析儀來觀察信號功率和頻率的關系，幫助他們實現雷達研制中的基本功能 。40年代的頻譜分析儀是以掃頻的射頻接收機為基礎的實驗室成果 。50年代至60年代真正有了臺式頻譜分析儀 。美國HP公司1964年推出了第一臺市售半自動的頻譜分析儀 。
70年代 ， 隨著YIG調諧器、集成電路、高性能微波晶體管及固體微波器件的研制成功 ， 采樣技術、頻率合成技術、微波混合集成技術及數字化技術的發展與應用，頻譜分析儀如雨后春筍，得到了快速的發展 。從80年代開始，隨著計算機、微處理器的發展和廣泛應用，頻譜分析儀向智能化和自動化方向大步邁進 ， 先后出現了一大批智能頻譜分析儀和自動頻譜分析儀 。自上世紀以來，微處理器的普及和數字技術的應用，促進了頻譜分析儀的快速發展 。目前頻譜分析儀都實現了高分辨率、大動態范圍、高靈敏度、CRT數字顯示、乃至數字儲存和高可靠性的方向發展 。現代計算機技術和數字信號處理技術（DSP）在頻譜分析儀中使用 ， 成為現代頻譜分析儀的發展趨勢 。
【頻域測量儀器發展歷史 測量儀器發展歷程】
